我們常說除靜電,防靜電但是可能大家一直沒有搞明白。除靜電它到底用有幾種方法,在我們想要除靜電時,先要了解靜電產(chǎn)生原理,然后選擇正確的除靜電方法,之后在去選擇相對應(yīng)的除靜電設(shè)備,來真正做到除靜電。下面我們來說一下基本的幾種除靜電方法:
(1) 工藝控制法
旨在使生產(chǎn)過程中盡量少產(chǎn)生靜電荷.為此應(yīng)從工藝流程、材料選擇、設(shè)備安裝和操作管理等方面采取措施,控制靜電的產(chǎn)生和積聚,抑制靜電電位和靜電放電的能力,使之不超過危害的程度。
如在半導(dǎo)體制造過程中,當(dāng)高速器件的淺結(jié)形成工序完成后,對沖洗用的去離子水的電阻率就必須控制。雖然電阻率越高,潔凈效果越好,但電阻率越高。絕緣性越越好,在芯片上產(chǎn)生的靜電就越高。因此一般要控制在略高于8MΩ的水平,而不能是初始工序用的16-17MΩ。還有在材料選擇上,包裝材料要采用防靜電材料,盡量避免未經(jīng)處理的高分子材料。
(2) 泄漏法
旨在使靜電通過泄漏達(dá)到消除的目的。通常采用靜電接地是電荷向大地泄漏;也有采用增大物體電導(dǎo)的方法使接地沿物體表面或通過內(nèi)部泄漏,如添加靜電劑或增濕。最常見的是工作人員帶的防靜電腕帶,靜電接地柱。
(3) 靜電屏蔽法
根據(jù)靜電屏蔽的原理,可分為內(nèi)場屏蔽和外場屏蔽兩種。具體措施是用接地的屏蔽罩把帶電體與其它物體隔離開來,這樣帶電體的電場將不會影響周圍其它物體(內(nèi)場屏蔽);有時也用屏蔽罩八被隔離的物體包圍起來,使其免受外界電場的影響(外場屏蔽)。如GaAs器件包裝多采用金屬盒或金屬膜。
(4) 復(fù)合中和法
旨在使靜電荷通過復(fù)合中和的辦法,達(dá)到消除的目的。通常利用接地消除器產(chǎn)生帶有異號電荷的離子與帶電體上的電荷復(fù)合,達(dá)到中和的目的。一般來說當(dāng)帶電體是絕緣體時,由于電荷在絕緣體上不能流動,所以不能采用接地的辦法泄漏電荷,這時就必須采用靜電消除器產(chǎn)生異號離子去中和。如對生產(chǎn)線傳送帶上產(chǎn)生的靜電荷就采用這種方法進(jìn)行消除。
(5) 整凈措施
旨在避免尖端放電的現(xiàn)象。為此,應(yīng)該盡可能使帶電體及周圍物體的表面保持光滑和潔凈,以便減少尖端放電的可能性
上面講到這幾個基本除靜電方法,希望對大家有一定幫助。也希望大家能夠正確認(rèn)識靜電,能有效去除靜電。